由网友(霖气乱)分享简介：中文名偏偏压电源定 义实空电弧离子镀外文名Bias power supply 应 用正在镀膜工艺中为工件供给负偏偏压界说：偏偏压电源（Bias power supply ）是实空电弧离子镀及其它实空物理气相重积设备中1个沉要组件，正在镀膜工艺流程中为工件供给负（或者邪）偏偏压。做用一）提低实空等离子体内戴电粒子的能质，轰击洗濯所镀工...

中文名

偏压电源

定 义

真空电弧离子镀

外文名

Bias power supply

应 用

在镀膜工艺中为工件提供负偏压

定义：

偏压电源（Bias power supply ）是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件，在镀膜工艺流程中为工件提供负（或正）偏压。

作用

1）提高真空等离子体内带电粒子的能量，轰击清洗所镀工件表面，使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层，从而提高后续沉积膜层的结合力

2）提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量，提高膜层与工件基体结合力

3）靠不同的电压输出极性或方式改变沉积规则，调整膜层颜色

4）克服偏压电源工作于真空等离子体环境中，由高电压引起的阴极弧光放电烧伤工件

技术说明

偏压电源工作于二级高频变换模式，单极脉冲方式输出。电源的电压调整通过改变高频变换电路的电源电压来实现，调压电路具有1%的稳率。高频变换电路产生10-90%脉冲电压。由于电源的输出电压与脉冲宽度独立调整，在满足工艺所需电压同时，通过改变脉冲宽度来控工件温升。电源适用于各类工具镀膜及装饰镀膜 。

电源功率范围	10-80KW
输入电源	AC380V三相四线制 50-60HZ±10％
输出方式	脉冲
输出电压	0-180V 0-500V 0-1000V
脉冲频率	40KHZ
脉冲百分比	10-90％连续调节
输出电压稳定率	预前稳压，负载电压10％
冷却方式	10-40KW风冷 40-80KW水冷
使用环境	环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85％ 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
冷却水	清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa
通讯方式	模拟/RS485/RS232
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

优点

此电源应用于工具镀膜及装饰镀膜。